$XeF_2$,$XeF_4$,અને $XeF_6$ તાપમાન,દબાણ અને મોલર ગુણોત્તરની ચોક્કસ પરિસ્થિતિઓ હેઠળ ઝેનોન અને ફ્લોરિન વાયુની સીધી પ્રતિક્રિયા દ્વારા તૈયાર કરવામાં આવે છે.
$1. XeF_2$ એ $Xe$ (વધારે પ્રમાણમાં) અને $F_2$ ની $673 \ K$ અને $1 \ bar$ દબાણે પ્રતિક્રિયા દ્વારા મેળવવામાં આવે છે:
$\mathop {Xe_{(g)}}\limits_{(\text{excess})} + F_{2_{(g)}} \xrightarrow{673 \ K, 1 \ bar} XeF_{2_{(s)}}$
$2. XeF_4$ એ $Xe$ અને $F_2$ ની $1:5$ મોલર ગુણોત્તરમાં $873 \ K$ અને $7 \ bar$ દબાણે પ્રતિક્રિયા દ્વારા મેળવવામાં આવે છે:
$\mathop {Xe_{(g)}}\limits_{(1:5 \ \text{ratio})} + 2F_{2_{(g)}} \xrightarrow{873 \ K, 7 \ bar} XeF_{4_{(s)}}$
$3. XeF_6$ એ $Xe$ અને $F_2$ ની $1:20$ મોલર ગુણોત્તરમાં $573 \ K$ અને $60-70 \ bar$ દબાણે પ્રતિક્રિયા દ્વારા મેળવવામાં આવે છે:
$\mathop {Xe_{(g)} + 3F_{2_{(g)}}}\limits_{(1:20 \ \text{ratio})} \xrightarrow{573 \ K, 60-70 \ bar} XeF_{6_{(s)}}$