$XeF_2$,$XeF_4$,और $XeF_6$ तापमान,दबाव और मोलर अनुपात की विशिष्ट परिस्थितियों में ज़ेनॉन और फ्लोरीन गैस की सीधी प्रतिक्रिया द्वारा तैयार किए जाते हैं।
$1. XeF_2$ को $Xe$ (अधिक मात्रा में) और $F_2$ की $673 \ K$ और $1 \ bar$ दबाव पर प्रतिक्रिया द्वारा प्राप्त किया जाता है:
$\mathop {Xe_{(g)}}\limits_{(\text{excess})} + F_{2_{(g)}} \xrightarrow{673 \ K, 1 \ bar} XeF_{2_{(s)}}$
$2. XeF_4$ को $Xe$ और $F_2$ की $1:5$ मोलर अनुपात में $873 \ K$ और $7 \ bar$ दबाव पर प्रतिक्रिया द्वारा प्राप्त किया जाता है:
$\mathop {Xe_{(g)}}\limits_{(1:5 \ \text{ratio})} + 2F_{2_{(g)}} \xrightarrow{873 \ K, 7 \ bar} XeF_{4_{(s)}}$
$3. XeF_6$ को $Xe$ और $F_2$ की $1:20$ मोलर अनुपात में $573 \ K$ और $60-70 \ bar$ दबाव पर प्रतिक्रिया द्वारा प्राप्त किया जाता है:
$\mathop {Xe_{(g)} + 3F_{2_{(g)}}}\limits_{(1:20 \ \text{ratio})} \xrightarrow{573 \ K, 60-70 \ bar} XeF_{6_{(s)}}$